โครงสร้างเครื่องทำความสะอาดพลาสม่า
Jul 01, 2025
โครงสร้างของเครื่องทำความสะอาดพลาสมาประกอบด้วยองค์ประกอบหลักสามส่วน ได้แก่ หน่วยควบคุม ห้องสุญญากาศ และปั๊มสุญญากาศ เรามาหารือเกี่ยวกับองค์ประกอบทั้งสามนี้:
1. หน่วยควบคุม
เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าที่ใช้ในประเทศจีน รวมถึงเครื่องนำเข้า มีหน่วยควบคุมที่มีสี่ประเภทหลัก: กึ่ง-อัตโนมัติ อัตโนมัติเต็มรูปแบบ ควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์- และหน้าจอสัมผัส LCD
หน่วยควบคุมยังแบ่งออกเป็นสองส่วนหลักเพิ่มเติม:
1) พาวเวอร์ซัพพลาย: มีความถี่ของพาวเวอร์ซัพพลายหลักสามความถี่: 40 kHz, 13.56 MHz และ 2.45 GHz แหล่งจ่ายไฟ 13.56 MHz ต้องใช้อะแดปเตอร์จ่ายไฟ
2) หน่วยควบคุมระบบ: มีสามประเภท: การควบคุมปุ่มกด- (กึ่ง-อัตโนมัติและอัตโนมัติเต็มรูปแบบ) การควบคุมคอมพิวเตอร์ และการควบคุม PLC (หน้าจอสัมผัส LCD)
2. ห้องสุญญากาศ:
ห้องสุญญากาศทำจากวัสดุสองชนิดเป็นหลัก:
1) ห้องสุญญากาศสแตนเลส
2) ห้องควอตซ์
3. ปั๊มสุญญากาศ:
ปั๊มสุญญากาศแบ่งออกเป็น 2 ประเภท:
1) ปั๊มแห้ง
2) ปั้มน้ำมัน.






