การใช้งานเฉพาะของน้ำยาทำความสะอาดพลาสม่า

เครื่องทำความสะอาด/แกะสลักพลาสม่าจะสร้างพลาสมาโดยการวางอิเล็กโทรดสองตัวไว้ในภาชนะที่ปิดสนิทเพื่อสร้างสนามไฟฟ้า ปั๊มสุญญากาศใช้เพื่อรักษาระดับสุญญากาศระดับหนึ่ง เมื่อก๊าซทำให้บริสุทธิ์มากขึ้น ระยะห่างระหว่างโมเลกุลและการเคลื่อนที่อย่างอิสระของโมเลกุลหรือไอออนก็จะเพิ่มขึ้นเช่นกัน ภายใต้อิทธิพลของสนามไฟฟ้า ไอออนเหล่านี้จะชนกันและก่อตัวเป็นพลาสมา ไอออนเหล่านี้มีปฏิกิริยาสูง โดยมีพลังงานเพียงพอที่จะทำลายพันธะเคมีเกือบทั้งหมด ทำให้เกิดปฏิกิริยาเคมีบนพื้นผิวใดๆ ที่สัมผัส พลาสมาของก๊าซต่างกันมีคุณสมบัติทางเคมีต่างกัน ตัวอย่างเช่น ออกซิเจนพลาสมามีการออกซิไดซ์สูง ซึ่งสามารถออกซิไดซ์โฟโตรีซิสต์เพื่อผลิตก๊าซ ดังนั้นจึงได้ผลในการทำความสะอาด พลาสมาของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนมีแอนไอโซโทรปีที่ดีเยี่ยม ซึ่งตรงตามข้อกำหนดของการกัดกรด การบำบัดด้วยพลาสมาทำให้เกิดการเรืองแสง จึงเป็นที่มาของชื่อการเรืองแสง
กลไกการทำความสะอาดพลาสมาอาศัย "การกระตุ้น" ของอนุภาคออกฤทธิ์ในพลาสมาเป็นหลักเพื่อขจัดคราบบนพื้นผิว ในแง่ของกลไกการเกิดปฏิกิริยา โดยทั่วไปการทำความสะอาดพลาสมาจะเกี่ยวข้องกับกระบวนการต่อไปนี้: ก๊าซอนินทรีย์ถูกตื่นเต้นให้อยู่ในสถานะพลาสมา สารที่เป็นก๊าซจะถูกดูดซับลงบนพื้นผิวแข็ง กลุ่มที่ถูกดูดซับจะทำปฏิกิริยากับโมเลกุลบนพื้นผิวของแข็งเพื่อสร้างโมเลกุลของผลิตภัณฑ์ โมเลกุลของผลิตภัณฑ์สลายตัวเป็นเฟสก๊าซ และสารตกค้างของปฏิกิริยาจะถูกกำจัดออกจากพื้นผิว

คุณลักษณะที่สำคัญที่สุดของเทคโนโลยีการทำความสะอาดพลาสมาคือสามารถบำบัดสารตั้งต้นได้ทุกประเภท รวมถึงโลหะ เซมิคอนดักเตอร์ ออกไซด์ และวัสดุโพลีเมอร์ส่วนใหญ่ เช่น โพลีโพรพีลีน โพลีเอสเตอร์ โพลีอิไมด์ โพลีไวนิลคลอไรด์ อีพอกซี และแม้แต่โพลีเตตราฟลูออโรเอทิลีน สามารถทำความสะอาดได้ทั้งพื้นผิวทั้งหมดและพื้นที่เฉพาะตลอดจนโครงสร้างที่ซับซ้อน